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标题
Evaluation of residual stress in InP and InAs (100) substrates obtained from single crystals grown by LEC and VGF methods
由LEC和VGF法生长的单晶获得的InP和InAs(100)衬底中残余应力的评估
相关领域
薄脆饼 材料科学 残余应力 拉曼光谱 平坦度(宇宙学) 光电子学 分析化学(期刊) 光学 复合材料 化学 物理 宇宙学 色谱法 量子力学
网址
DOI
10.1016/j.mssp.2020.105460 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:Yuan Zhou; Youwen Zhao; Guiying Shen; Hongwei Xie; Jingming Liu; et al
出版日期:2021-01-01
求助人
薛定谔的猫猫 在 2024-11-27 03:02:50 发布自北京,悬赏 10 积分
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