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标题
Area-Selective Molecular Layer Deposition of Alucone on Photoresist for Enhanced Pattern Transfer
用于增强图案转移的光刻胶上的Alucone区域选择性分子层沉积
相关领域
光刻胶 图层（电子） 沉积（地质） 材料科学 纳米技术 逐层 化学工程 古生物学 沉积物 工程类 生物
网址
https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.4c02521
DOI
10.1021/acs.chemmater.4c02521 doi
其它 期刊：Chemistry of Materials
作者：Long Liu; Yue Zhang; Wenda Bao; Weixuan Zeng; Xiaoyun Yu; et al
出版日期：2024-11-27
求助人
安静寒凡 在 2025-01-09 09:59:17 发布自湖北，悬赏 20 积分
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