Isotropic atomic layer etching of MgO-doped lithium niobate using sequential exposures of H2 and SF6/Ar plasmas

已完结

文献求助详情

标题	Isotropic atomic layer etching of MgO-doped lithium niobate using sequential exposures of H2 and SF6/Ar plasmas H2和SF6/Ar等离子体顺序曝光掺杂MgO铌酸锂的各向同性原子层刻蚀相关领域铌酸锂材料科学等离子体锂（药物）蚀刻（微加工）兴奋剂图层（电子）各向同性等离子体刻蚀氢光电子学复合材料化学光学物理医学有机化学量子力学内分泌学
网址	https://doi.org/10.1116/6.0003962
DOI	10.1116/6.0003962 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Ivy I. Chen; Jennifer Solgaard; Ryoto Sekine; Azmain A. Hossain; Anthony J. Ardizzi; et al 出版日期：2024-10-11
求助人	是阿水啊在 2025-01-01 18:26:56 发布自山东，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 温柔蓝天发布了新的文献求助10

1秒前; fin完成签到，获得积分10

2秒前; Jack发布了新的文献求助10

2秒前; 李健的粉丝团团长上传了应助文件

7秒前; Catherine完成签到，获得积分20

7秒前; 优雅的行云上传了应助文件

7秒前; Mary关闭了Mary的文献求助

7秒前; wwwzzzxxx发布了新的文献求助30

11秒前; xiongyuan完成签到，获得积分10

11秒前; HCLonely上传了应助文件

12秒前; 湘华发布了新的文献求助30

13秒前; 活泼的六一完成签到，获得积分10

17秒前; 丰知然的应助被深情野狼采纳，获得10

18秒前; rosalieshi的应助被深情野狼采纳，获得30

18秒前; 有点IS完成签到，获得积分10

21秒前; huihui完成签到，获得积分10

21秒前; Alicia关闭了Alicia的文献求助

21秒前; 丘比特上传了应助文件

23秒前; 李健的粉丝团团长的应助被西瓜汁与菠萝汁采纳，获得10

23秒前; 完美世界的应助被从容的安南采纳，获得10

23秒前; 洪武大帝关闭了洪武大帝的文献求助

23秒前; 毛豆的应助被xdx采纳，获得10

26秒前; 无心的凡柔完成签到，获得积分10

27秒前; yshj发布了新的文献求助10

27秒前; xin完成签到，获得积分10

27秒前; wwwzzzxxx完成签到，获得积分10

27秒前; xcs完成签到，获得积分10

29秒前; 黑胡椒完成签到，获得积分10

29秒前; oyfff发布了新的文献求助10

29秒前; 毛豆的应助被遇安采纳，获得10

33秒前; 毛豆的应助被不停疯狂采纳，获得10

35秒前; 上官若男上传了应助文件

36秒前; 优雅的行云上传了应助文件

37秒前; whh123完成签到，获得积分20

37秒前; NZH发布了新的文献求助10

39秒前; 呆萌的鼠标完成签到，获得积分10

41秒前; shiyin发布了新的文献求助10

41秒前; 圆圆完成签到，获得积分10

42秒前; Chocolat_Chaud完成签到，获得积分10

45秒前; jim完成签到，获得积分10

45秒前