Separation of wafer bonding interface from heterogenous mismatched interface achieved high quality bonded Ge-Si heterojunction

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标题	Separation of wafer bonding interface from heterogenous mismatched interface achieved high quality bonded Ge-Si heterojunction 晶片键合界面与异质失配界面分离实现高质量键合Ge-Si异质结相关领域异质结材料科学光电子学晶片键合外延硅退火（玻璃）薄脆饼纳米技术图层（电子）复合材料
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.160104
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.160104 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Ruoyun Ji; Dan Wang; Jinlong Jiao; Liqiang Yao; Fuxiu He; et al 出版日期：2024-04-15
求助人	热心阑香在 2024-12-16 21:10:52 发布自福建，悬赏 10 积分
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