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 AlN Thin Films Grown on Different Substrates by Metal Nitride Vapor Phase Epitaxy 金属氮化物气相外延在不同衬底上生长AlN薄膜
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期刊：Crystal Research and Technology 作者：Endong Wang; Hui Zhang; Xinjian Xie; Luxiao Xie; Lifeng Bian; et al 出版日期：2023-01-06 |
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