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 Conduction Mechanism of Leakage Current in Ta2 O 5 Films on Si Prepared by LPCVD LPCVD法制备Ta2O5薄膜漏电流传导机制
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Shigeaki Zaima; Takeshi Furuta; Yasuo Koide; Yukio Yasuda; Makio Iida 出版日期：1990-09-01 |
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