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 Metal‐Assisted Chemical Etching of Silicon in Oxidizing HF Solutions: Origin, Mechanism, Development, and Black Silicon Solar Cell Application 氧化HF溶液中硅的金属辅助化学蚀刻：起源、机理、发展及黑硅太阳电池的应用
相关领域
材料科学
硅
纳米技术
蚀刻（微加工）
黑硅
氧化剂
各向同性腐蚀
工程物理
光电子学
化学
工程类
有机化学
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Advanced Functional Materials 作者：Chenliang Huo; Jiang Wang; Haoxin Fu; Xianlun Li; Yi Yang; et al 出版日期：2020-09-16 |
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