Ultra-low density, nanostructured free-standing films for EUV Pellicles - 科研通

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标题	Ultra-low density, nanostructured free-standing films for EUV Pellicles 用于EUV薄膜的超低密度纳米结构自支撑膜相关领域极紫外光刻材料科学光电子学纳米光刻纳米技术制作医学病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2572972
DOI	10.1117/12.2572972 doi
其它	期刊：作者：Márcio D. Lima; Takahiro Ueda; Luis Plata; Yang Yang; Vincent Le; et al 出版日期：2020-09-18
求助人	2150号在 2024-12-24 16:02:06 发布自江苏，悬赏 30 积分
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