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标题
Elimination of OISF in large-size Si substrate for low warpage and crack-free GaN epitaxial wafer
低翘曲无裂纹GaN外延片大尺寸Si衬底中OISF的消除
相关领域
材料科学 薄脆饼 外延 光电子学 基质(水族馆) 复合材料 工程物理 海洋学 图层(电子) 工程类 地质学
网址
DOI
10.1016/j.matlet.2024.137549 doi
其它 期刊:Materials Letters
作者:Y.G. Wang; Fei Huang; Wenxian Yang; Jianjun Zhu; Shulong Lu
出版日期:2024-10-01
求助人
smy 在 2024-10-22 15:35:31 发布自北京,悬赏 10 积分
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