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Effective Suppression of Amorphous Ga2O and Related Deep Levels on the GaN Surface by High-Temperature Remote Plasma Pretreatments in GaN-Based Metal–Insulator–Semiconductor Electronic Devices
GaN基金属-绝缘体-半导体电子器件中高温远距离等离子体预处理对GaN表面非晶态Ga2O及相关深能级的有效抑制
相关领域
材料科学
钝化
光电子学
深能级瞬态光谱
表面状态
无定形固体
氮化镓
半导体
宽禁带半导体
带隙
X射线光电子能谱
硅
纳米技术
化学工程
图层(电子)
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化学
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期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Kexin Deng; Xinhua Wang; Sen Huang; Pengfei Li; Qimeng Jiang; et al 出版日期:2023-05-10 |
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