Vlsi Metallization by Coherent Magnetron Sputtering

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标题	Vlsi Metallization by Coherent Magnetron Sputtering 超大规模集成电路的相干磁控溅射金属化相关领域材料科学溅射溅射沉积光电子学薄脆饼图层（电子）钛腔磁控管工程物理薄膜纳米技术冶金工程类
网址	https://doi.org/10.1557/proc-337-541
DOI	10.1557/proc-337-541 doi
其它	期刊：MRS Proceedings 作者：Xin Guo; J. van Gogh; Ivo J. Raaijmakers 出版日期：1994-01-01
求助人	acdc 在 2025-02-21 16:29:47 发布自安徽，悬赏 10 积分
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