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The effect of HVPE reactor geometry on GaN growth rate—experiments versus simulations
HVPE反应器几何形状对GaN生长速率的影响——实验与模拟
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:C.E.C. Dam; A.P. Grzegorczyk; P.R. Hageman; R. Dorsman; C.R. Kleijn; P.K. Larsen 出版日期:2004-09-14 |
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