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 Preparation and electrical characteristics of Li–N co-doped InZnAlO thin film transistors by radio frequency magnetron sputtering 射频磁控溅射法制备Li-N共掺杂InZnAlO薄膜晶体管及其电学特性
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期刊：Vacuum 作者：Weiguang Yang; Hui Yang; Jinbao Su; Xiqing Zhang 出版日期：2022-08-01 |
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