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Investigation of IGZO Thin Film Transistors with Copper Electrode Under Varied Channel Lengths and Different Gate Insulator Annealing Temperatures
不同沟道长度和不同栅极绝缘体退火温度下铜电极IGZO薄膜晶体管的研究
相关领域
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铜
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期刊: 作者:Po‐Yi Lee; Kuan‐Ju Zhou; Chen Yuan; Po-Yu Yen; Ting‐Chang Chang 出版日期:2024-04-22 |
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