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标题
Super-resolved critical dimensions in far-field I-line photolithography
远场I线光刻中的超分辨临界尺寸
相关领域
激光线宽 临界尺寸 光刻 光刻胶 光学 平版印刷术 抵抗 直线（几何图形） 材料科学 衍射 光电子学 物理 纳米技术 激光器 图层（电子） 几何学 数学
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.18.1.013505
DOI
10.1117/1.jmm.18.1.013505 doi
其它 期刊：Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS
作者：David B. Miller; Darren Forman; Adam M. Jones; Robert R. McLeod
出版日期：2019-03-12
求助人
cgl155410 在 2024-07-09 18:14:55 发布自广东，悬赏 20 积分
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