标题 |
Heterogeneous integration of thick GaN and polycrystalline diamond at room temperature through dynamic plasma polishing and surface-activated bonding
动态等离子体抛光和表面活化结合常温下厚GaN与聚晶金刚石的异质集成
相关领域
抛光
材料科学
钻石
聚晶金刚石
微晶
等离子体
等离子体活化
纳米技术
光电子学
冶金
物理
量子力学
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其它 |
期刊:Journal of Alloys and Compounds 作者:Runhua Gao; Xinhua Wang; Fengwen Mu; Xiaojing Li; Chenyu Wei; et al 出版日期:2024-05-01 |
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