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 Recent Advancements in α‐Ga2O3 Thin Film Growth for Power Semiconductor Devices via Mist CVD Method: A Comprehensive Review 雾状CVD法生长功率半导体α-Ga2O3薄膜的研究进展
相关领域
雾
半导体
材料科学
薄膜
光电子学
纳米技术
工程物理
工程类
物理
气象学
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期刊：Crystal Research and Technology 作者：Abhay Kumar Mondal; Loh Kean Ping; Muhammad Aniq Shazni Mohammad Haniff; Raihana Bahru; Mohd Ambri Mohamed 出版日期：2024-02-23 |
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