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 Atomistic insights into chemical vapor deposition process of preparing silicon carbide materials using ReaxFF-MD simulation 使用ReaxFF-MD模拟制备碳化硅材料的化学气相沉积过程的原子洞察
相关领域
雷亚克夫
化学气相沉积
碳化硅
材料科学
分子动力学
碳化物
纳米技术
化学工程
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化学
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期刊：Computational Materials Science 作者：Zefan Yan; Yu Tian; Rongzheng Liu; Bing Liu; Youlin Shao; et al 出版日期：2024-04-23 |
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