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标题
Formation of thick spin-on glass (SOG) sacrificial layer for capacitive accelerometer encapsulation
用于电容式加速度计封装的厚旋涂玻璃(SOG)牺牲层的形成
相关领域
材料科学 复合材料 薄脆饼 制作 光电子学 医学 病理 替代医学
网址
https://doi.org/10.1117/12.638570
DOI
10.1117/12.638570 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Azrul Azlan Hamzah; Burhanuddin Y. Majlis; Ibrahim Ahmad
出版日期：2005-12-28
求助人
明亮的初阳 在 2025-03-25 20:22:23 发布自北京，悬赏 20 积分
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