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标题
Electron-Enhanced Atomic Layer Deposition of Titanium Nitride Films Using an Ammonia Reactive Background Gas
使用氨反应性背景气体的电子增强原子层沉积氮化钛薄膜
相关领域
原子层沉积 锡 氮化钛 X射线光电子能谱 分析化学（期刊） 材料科学 硅 薄膜 椭圆偏振法 氮化物 钛 图层（电子） 化学 化学工程 纳米技术 光电子学 冶金 工程类 色谱法
网址
https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.2c02341
DOI
10.1021/acs.chemmater.2c02341 doi
其它 期刊：Chemistry of Materials
作者：Zachary C. Sobell; Steven M. George
出版日期：2022-10-20
求助人
董醉山 在 2024-12-12 08:13:10 发布自浙江，悬赏 10 积分
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