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标题
Exploring Negative Ion Behaviors and Their Influence on the Properties of DC Magnetron Sputtered ITO Films under Varied Power and Pressure Conditions
不同功率和压力条件下负离子行为及其对直流磁控溅射ITO薄膜性能的影响
相关领域
腔磁控管 离子 材料科学 功率（物理） 工程物理 光电子学 纳米技术 薄膜 溅射 化学 热力学 物理 有机化学
网址
https://doi.org/10.1088/1674-1056/ad62df
DOI
10.1088/1674-1056/ad62df doi
其它 期刊：Chinese Physics B
作者：Maoyang 茂洋 Li 李; Chaochao 超超 Mo 莫; Peiyu 佩宇 Ji 季; Xiaoman 潇漫 Zhang 张; Jiali 佳丽 Chen 陈; et al
出版日期：2024-07-15
求助人
Akun 在 2025-02-26 10:47:54 发布自江苏，悬赏 10 积分
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