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 Design, optimization, and characterization of an XY nanopositioning stage with multi-level spatial flexure hinges for high-precision large-stroke motion guidance 用于高精度大行程运动制导的多级空间柔性铰链XY纳米定位台的设计、优化和表征
相关领域
平行四边形
音圈
铰链
电磁线圈
有限元法
声学
执行机构
跟踪（教育）
计算机科学
联轴节（管道）
物理
控制理论（社会学）
光学
机械工程
工程类
经典力学
心理学
教育学
量子力学
人工智能
热力学
控制（管理）
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| 其它 |
期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Zhichao Shi; Xiaoquan Li; Zhiwei Zhu 出版日期：2023-12-01 |
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