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标题
Design and evaluation of micro-heater geometries for MEMS-based ozone gas sensor through a theoretical modeling
基于MEMS的臭氧气体传感器微加热器几何形状的理论建模与评价
相关领域
曲流（数学） 微电子机械系统 臭氧 螺旋（铁路） 环境科学 灵敏度（控制系统） 材料科学 气象学 光电子学 工程类 机械工程 电子工程 几何学 物理 数学
网址
https://doi.org/10.1016/j.matpr.2022.05.446
DOI
10.1016/j.matpr.2022.05.446 doi
其它 期刊：Materials Today Proceedings
作者：Nandini G. Iyer; Su. Suganthi; M. Arulmozhi; P. Sivakumar; S. Jeny Sophia
出版日期：2022-01-01
求助人
愿祖国繁荣昌盛 在 2025-01-20 19:23:57 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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