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标题
Systematic structural and chemical characterization of the transition layer at the interface of NO-annealed 4H-SiC/SiO2 metal-oxide-semiconductor field-effect transistors
NO退火4H-SiC/SiO2金属氧化物半导体场效应晶体管界面过渡层的系统结构和化学表征
相关领域
材料科学 退火(玻璃) 电子能量损失谱 透射电子显微镜 表征(材料科学) 场效应晶体管 氧化物 半导体 化学气相沉积 过渡金属 分析化学(期刊) 光谱学 凝聚态物理 光电子学 晶体管 化学 纳米技术 复合材料 冶金 生物化学 物理 量子力学 电压 色谱法 催化作用
网址
DOI
10.1063/1.4789924 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:Joshua A. Taillon; Joon Hyuk Yang; Claude Ahyi; John Rozen; John R. Williams; et al
出版日期:2013-01-28
求助人
ZYH 在 2025-01-31 18:56:58 发布自上海,悬赏 10 积分
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