Study on band gap and dispersion model of Al2O3 thin films with different oxygen flow rates by ion beam sputtering

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标题	Study on band gap and dispersion model of Al2O3 thin films with different oxygen flow rates by ion beam sputtering 离子束溅射不同氧流量Al2O3薄膜带隙及色散模型研究相关领域薄膜材料科学表面粗糙度分析化学（期刊）溅射体积流量溅射沉积带隙离子束辅助沉积离子束氧气光学化学光电子学梁（结构）纳米技术复合材料物理量子力学有机化学色谱法
网址	https://doi.org/10.1117/12.2539622
DOI	10.1117/12.2539622 doi
其它	期刊：作者：Jiahuan He; Dan Chen; Lishuan Wang; Shida Li; Dandan Liu; et al 出版日期：2019-07-08
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