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 Measuring after etch overlay and characterizing tilt fingerprints in multi-tier 3D-NAND structures 多层3D-NAND结构中蚀刻覆盖后倾斜指纹的测量与表征
相关领域
覆盖
计算机科学
倾斜（摄像机）
与非门
逻辑门
算法
工程类
操作系统
机械工程
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| 其它 |
期刊： 作者：Honggoo Lee; Dong-Young Lee; Jun-Yeob Kim; Sangjun Han; Chanha Park; et al 出版日期：2019-03-26 |
| 求助人 | |
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