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标题
Spatiotemporal evolution and its impact on the deposition behavior of atmospheric TEOS/O2/Ar plasma: A numerical study
大气TEOS/O2/Ar等离子体时空演化及其对沉积行为影响的数值研究
相关领域
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网址
DOI
10.1002/ppap.202300172 doi
其它 期刊:Plasma Processes and Polymers
作者:Jiaxin Chang; Dong Dai; Cheng Zhang; Tao Shao
出版日期:2023-12-26
求助人
魔幻的雁兰 在 2024-07-30 18:59:16 发布自陕西,悬赏 10 积分
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