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Spatiotemporal evolution and its impact on the deposition behavior of atmospheric TEOS/O2/Ar plasma: A numerical study
大气TEOS/O2/Ar等离子体时空演化及其对沉积行为影响的数值研究
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期刊:Plasma Processes and Polymers 作者:Jiaxin Chang; Dong Dai; Cheng Zhang; Tao Shao 出版日期:2023-12-26 |
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