| 标题 |
 Chemical conversion of MoS2 thin films deposited by atomic layer deposition (ALD) into molybdenum nitride monitored by in situ reflectance measurements 通过原位反射测量监测原子层沉积（ALD）沉积的MoS2薄膜向氮化钼的化学转化
相关领域
原子层沉积
二硫化钼
氮化物
钼
材料科学
拉曼光谱
薄膜
渗氮
X射线光电子能谱
图层（电子）
化学气相沉积
沉积（地质）
原位
纳米技术
化学工程
光电子学
化学
冶金
光学
有机化学
古生物学
物理
工程类
沉积物
生物
|
| 备注 |
求正式发表版本
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Julien Patouillard; R. Gassilloud; F. Mercier; A. Mantoux; R. Boichot; et al 出版日期：2023-07-31 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
井哥儿
我不爱池鱼
爱静静
热切菩萨
1257
梦之凌云
干净的铅笔
stuffmatter
Yziii
不懈奋进
从容芮
pcr163
HEIKU
哎嘿
薰硝壤
Leonardi
超文献
可言飞舞
pluto
shinysparrow
皖公网安备34019202002308
