Novel DNQ PACs for high-resolution i-line lithography

已完结

文献求助详情

标题	Novel DNQ PACs for high-resolution i-line lithography 用于高分辨率i线光刻的新型DNQ PACs 相关领域抵抗平版印刷术极紫外光刻多重图案德拉姆光刻计算光刻计算机科学直线（几何图形）光学（聚焦）焦点深度（构造）浸没式光刻材料科学下一代光刻兆位光学光电子学电子束光刻纳米技术物理电信地质学古生物学几何学构造学俯冲数学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.59778
DOI	10.1117/12.59778 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：William R. Brunsvold; Nicholas K. Eib; Christopher F. Lyons; Steve S. Miura; Marina V. Plat; et al 出版日期：1992-06-01
求助人	清脆的冷松在 2024-09-02 10:12:47 发布自山东，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 1186完成签到，获得积分20

1秒前; lee发布了新的文献求助10

1秒前; Jasper上传了应助文件

2秒前; hanfuren发布了新的文献求助10

2秒前; sy发布了新的文献求助10

3秒前; Lucas上传了应助文件

3秒前; 深情安青的应助被小郭子采纳，获得10

3秒前; 李健的粉丝团团长上传了应助文件

3秒前; 贰陆完成签到，获得积分10

3秒前; 梵高完成签到，获得积分10

3秒前; 封尘逸动发布了新的文献求助10

4秒前; Raymond上传了应助文件

4秒前; 滑腻腻的小鱼发布了新的文献求助10

4秒前; 涟漪完成签到，获得积分10

5秒前; 774109完成签到，获得积分10

5秒前; 科研通AI2.0上传了应助文件

5秒前; 逯十一完成签到，获得积分10

6秒前; 香蕉觅云上传了应助文件

6秒前; 斯文败类上传了应助文件

7秒前; yww完成签到，获得积分10

7秒前; 美女发布了新的文献求助10

7秒前; 文艺的筮完成签到，获得积分10

7秒前; 李健的小迷弟的应助被wymmie采纳，获得10

7秒前; Jasper上传了应助文件

7秒前; OnionJJ上传了应助文件

8秒前; 领导范儿上传了应助文件

8秒前; Miller的应助被发表多篇高ifsci的第一作者采纳，获得10

8秒前; 科研通AI2.0上传了应助文件

8秒前; 阳佟若剑完成签到，获得积分10

8秒前; 雍州小铁匠完成签到，获得积分10

9秒前; 养乐多发布了新的文献求助10

9秒前; 丰富小蝴蝶发布了新的文献求助20

9秒前; Double双妹发布了新的文献求助10

9秒前; MissF完成签到，获得积分10

10秒前; sy完成签到，获得积分10

10秒前; 顾矜上传了应助文件

10秒前; 小二郎上传了应助文件

10秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

10秒前; 陈瑗发布了新的文献求助10

10秒前; 酷波er上传了应助文件

11秒前