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Kinetic simulations of capacitively coupled plasmas driven by tailored voltage waveforms with multi-frequency matching
多频匹配定制电压波形驱动电容耦合等离子体的动力学模拟
相关领域
阻抗匹配
等离子体
可变电容器
计算物理学
电压
电阻抗
匹配(统计)
容性耦合等离子体
电容器
材料科学
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物理
感应耦合等离子体
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量子力学
统计
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期刊:Plasma Sources Science and Technology 作者:Shimin Yu; Hao Wu; Shali Yang; Lu Wang; Zhipeng Chen; et al 出版日期:2024-07-02 |
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