标题 |
Investigation of the influence of hardmask morphology on bowing effect in nano-scale silicon plasma etching process
纳米硅等离子体刻蚀过程中硬掩模形貌对弯曲效应影响的研究
相关领域
鞠躬
蚀刻(微加工)
材料科学
等离子体刻蚀
纳米技术
哲学
神学
图层(电子)
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DOI | |
其它 |
期刊: 作者:Ziyi Hu; Junjie Li; Hua Shao; Rui Chen; Yayi Wei 出版日期:2024-02-23 |
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