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Reaction dynamics simulation of MoO2 cluster precursor with melting, deoxygenation and sulfuration for MoS2 growth by chemical vapor deposition
化学气相沉积MoS2生长MoO2团簇前驱体熔融脱氧硫化反应动力学模拟
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期刊:Applied Surface Science 作者:Qibo Wang; Zhenhua Han; Qinqin Xu; Tong Cheng; Jianzhong Yin 出版日期:2024-06-11 |
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