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 Moisture impact on dielectric reliability in low-k dielectric materials 湿度对低k介电材料介电可靠性的影响
相关领域
随时间变化的栅氧化层击穿
材料科学
水分
电介质
低介电常数
复合材料
含水量
介电强度
多孔性
电子工程
电气工程
光电子学
栅极电介质
岩土工程
晶体管
工程类
电压
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期刊：2022 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) 作者：Ki‐Don Lee; Quan Yuan; Anuj Patel; Zack Tran; Logan H. Brown; et al 出版日期：2016-04-01 |
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