High crystalline aluminum nitride via highly enhanced adatom diffusion driven by point defect complex

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标题	High crystalline aluminum nitride via highly enhanced adatom diffusion driven by point defect complex 点缺陷复合物驱动的高度增强吸附原子扩散制备高结晶氮化铝相关领域氮化物扩散材料科学化学物理晶体缺陷铝纳米技术结晶学化学冶金热力学物理图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2019.144615
DOI	10.1016/j.apsusc.2019.144615 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Moonsang Lee; Mino Yang; Haeyong Lee; Hyun Uk Lee; Heejin Kim; et al 出版日期：2019-11-08
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