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In-Situ Monitoring of Self-Heating Effect in Aggressively Scaled FinFETs and Its Quantitative Impact on Hot Carrier Degradation Under Dynamic Circuit Operation
动态电路操作下大规模FinFETs自热效应的原位监测及其对热载流子退化的定量影响
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期刊:2022 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) 作者:Yiming Qu; Jiwu Lu; Junkang Li; Zhuo Chen; Jie Zhang; et al 出版日期:2020-04-01 |
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