Optimization strategy for high-quality laser milling of silicon

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标题	Optimization strategy for high-quality laser milling of silicon 高质量激光铣削硅的优化策略相关领域通量材料科学硅激光器半径激光烧蚀光学烧蚀表面粗糙度表面光洁度光电子学复合材料物理计算机科学工程类航空航天工程计算机安全
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2022.107921
DOI	10.1016/j.optlastec.2022.107921 doi
其它	期刊：Optics and Laser Technology 作者：Taras V. Kononenko; D. N. Sovyk; V. V. Kononenko; Vitaly I. Konov 出版日期：2022-06-01
求助人	srf0602. 在 2024-12-22 20:07:05 发布自天津，悬赏 10 积分
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