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 Titanium Nitride Electron-Conductive Contact for Silicon Solar Cells By Radio Frequency Sputtering from a TiN Target 从TiN靶射频溅射硅太阳能电池用氮化钛电子导电接触
相关领域
材料科学
锡
氮化钛
硅
溅射
光电子学
氮化硅
钛
太阳能电池
掺杂剂
接触电阻
纳米技术
氮化物
兴奋剂
冶金
薄膜
图层（电子）
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