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标题
A hybrid proximity effect correction method based on separation of forward-/back-scattering and cumulative distribution function
一种基于前向/后向散射和累积分布函数分离的混合邻近效应校正方法
相关领域
累积分布函数 电子束光刻 平版印刷术 计算机科学 散射 GSM演进的增强数据速率 功能(生物学) 光学接近校正 邻近效应(电子束光刻) 前向散射 算法 光学 电子工程 物理 材料科学 数学 抵抗 概率密度函数 人工智能 工程类 纳米技术 统计 图层(电子) 进化生物学 生物
网址
DOI
10.1117/12.3052975 doi
其它 期刊:
作者:Jiaxin Chen; Haojie Zhao; Siyuan Zhang; Yujie Yang; Wenze Yao; et al
出版日期:2024-12-10
求助人
jun 在 2025-01-10 13:32:40 发布自安徽,悬赏 20 积分
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