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A hybrid proximity effect correction method based on separation of forward-/back-scattering and cumulative distribution function
一种基于前向/后向散射和累积分布函数分离的混合邻近效应校正方法
相关领域
累积分布函数
电子束光刻
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期刊: 作者:Jiaxin Chen; Haojie Zhao; Siyuan Zhang; Yujie Yang; Wenze Yao; et al 出版日期:2024-12-10 |
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