Comparison of the properties of a-C:H films deposited from methane and heptane precursors: study of the mechanical, chemical and structural properties - 科研通

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标题	Comparison of the properties of a-C:H films deposited from methane and heptane precursors: study of the mechanical, chemical and structural properties 甲烷和庚烷前驱体沉积a-C：H薄膜的性能比较：力学、化学和结构性能的研究相关领域等离子体增强化学气相沉积甲烷碳膜薄膜化学气相沉积拉曼光谱庚烷无定形碳材料科学无定形固体类金刚石碳碳纤维分析化学（期刊）化学工程化学纳米技术有机化学复合材料复合数光学物理工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2019.137733
DOI	10.1016/j.tsf.2019.137733 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：William Emanuel Silva Santos Viana; Amal Elzubair; Mauro Meliga Wysard; D. F. Franceschini; S.S. Camargo 出版日期：2019-12-03
求助人	leo_twli 在 2025-03-12 17:25:47 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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