Green Manufacturing of Silyl-Phosphate for Use in 3D NAND Flash Memory Fabrication

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标题	Green Manufacturing of Silyl-Phosphate for Use in 3D NAND Flash Memory Fabrication 用于3D NAND闪存制造的磷酸甲硅烷基的绿色制造相关领域磷酸硅烷化溶解蚀刻（微加工）与非门制作材料科学化学工程图层（电子）磷酸盐闪光灯（摄影）纳米技术无机化学化学有机化学催化作用冶金计算机科学逻辑门替代医学视觉艺术病理艺术工程类医学算法
网址	https://doi.org/10.1021/acssuschemeng.0c05677
DOI	10.1021/acssuschemeng.0c05677 doi
其它	期刊：ACS Sustainable Chemistry & Engineering 作者：Hyun Il Lee; Hyun Su Kim; Elsa Tsegay Tikue; Su Kyung Kang; Haoxiang Zhang; et al 出版日期：2021-04-01
求助人	碳碳焢烃在 2025-04-23 00:33:16 发布自河南，悬赏 10 积分
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