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标题
Thermo-mechanical behavior analysis of extreme-ultraviolet pellicle cooling with H2 flow
极紫外薄膜H2流冷却的热力学行为分析
相关领域
极紫外光刻 极端紫外线 材料科学 热的 紫外线 光学 光电子学 物理 热力学 激光器
网址
https://doi.org/10.1117/12.2280691
DOI
10.1117/12.2280691 doi
其它 期刊：
作者：Sung‐Gyu Lee; Eun‐Sang Park; Hye-Keun Oh; Myung-Gi Kang
出版日期：2017-10-16
求助人
QRE 在 2025-04-22 20:39:33 发布自北京，悬赏 20 积分
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