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 Surface oxide effects on failure of polysilicon MEMS after cyclic and monotonic loading 表面氧化物对多晶硅MEMS循环和单调加载后失效的影响
相关领域
材料科学
氧化物
微电子机械系统
多晶硅
腐蚀
多晶硅耗尽效应
复合材料
图层（电子）
压力（语言学）
压阻效应
冶金
光电子学
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电气工程
晶体管
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薄膜晶体管
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期刊：Scripta Materialia 作者：H. Kahn; Amir Avishai; Roberto Ballarini; A. H. Heuer 出版日期：2008-11-01 |
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