Differences in HF Wet Etching Resistance of PECVD SiNx:H thin films

已完结

文献求助详情

标题	Differences in HF Wet Etching Resistance of PECVD SiNx:H thin films PECVD SiNx：H薄膜耐HF湿法刻蚀性能的差异相关领域 X射线光电子能谱等离子体增强化学气相沉积化学气相沉积材料科学氮化硅分析化学（期刊）薄膜傅里叶变换红外光谱蚀刻（微加工）氮化物红外光谱学退火（玻璃）硅化学工程化学纳米技术复合材料光电子学图层（电子）有机化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2023.128023
DOI	10.1016/j.matchemphys.2023.128023 doi
其它	期刊：Materials Chemistry and Physics 作者：Matteo Barcellona; Orazio Samperi; D.O. Russo; A. Battaglia; D. Fischer; et al 出版日期：2023-09-01
求助人	安之在 2024-08-19 14:40:01 发布自浙江，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 包驳发布了新的文献求助10

刚刚; 一瓶他克莫司发布了新的文献求助10

2秒前; 动听的泥猴桃发布了新的文献求助10

2秒前; 是真的宇航员啊完成签到，获得积分10

2秒前; 雪白胡萝卜发布了新的文献求助10

3秒前; 在水一方上传了应助文件

3秒前; 大模型的应助被月如钩采纳，获得30

4秒前; 谦让小松鼠完成签到，获得积分10

4秒前; HEIKU的应助被文献狂人采纳，获得20

4秒前; 小菜李完成签到，获得积分10

5秒前; Owen的应助被包驳采纳，获得20

5秒前; CodeCraft的应助被Telomere采纳，获得10

5秒前; 乐乐的应助被弥深采纳，获得10

6秒前; 蜜思熵发布了新的文献求助10

6秒前; bu完成签到，获得积分10

6秒前; 隐形盼海驳回了脑洞疼的应助

7秒前; 曦鸽子发布了新的文献求助10

7秒前; 科研通AI2S的应助被生尽证提采纳，获得10

7秒前; 听雨轩完成签到，获得积分10

8秒前; wang发布了新的文献求助10

8秒前; 小马甲的应助被巫马荧采纳，获得10

9秒前; ckl发布了新的文献求助10

9秒前; 酷酷的海亦完成签到，获得积分10

9秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

10秒前; orixero上传了应助文件

17秒前; Lucas的应助被乘数采纳，获得10

17秒前; 乔达摩完成签到，获得积分10

17秒前; 曦鸽子完成签到，获得积分10

21秒前; explosion完成签到，获得积分10

22秒前; origin发布了新的文献求助30

22秒前; 优秀如雪发布了新的文献求助10

23秒前; 盆盆完成签到，获得积分10

23秒前; CikY完成签到，获得积分10

25秒前; zzz完成签到，获得积分10

25秒前; Lucas上传了应助文件

26秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

26秒前; 客念完成签到，获得积分10

27秒前; 凯凯关闭了凯凯的文献求助

29秒前; 星星完成签到，获得积分10

30秒前; 怦然关闭了怦然的文献求助

31秒前