Structural, electrical and optical properties of zinc nitride thin films prepared by reactive rf magnetron sputtering

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标题	Structural, electrical and optical properties of zinc nitride thin films prepared by reactive rf magnetron sputtering 反应射频磁控溅射氮化锌薄膜的结构、电学和光学性能相关领域 X射线光电子能谱材料科学微晶溅射氮化物薄膜溅射沉积俄歇电子能谱化学状态纹理（宇宙学）分析化学（期刊）冶金腔磁控管化学纳米技术核磁共振图层（电子）物理图像（数学）人工智能核物理学色谱法计算机科学
网址	https://doi.org/10.1016/s0040-6090(97)00910-3
DOI	10.1016/s0040-6090(97)00910-3 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Masanobu Futsuhara; Katsuaki Yoshioka; Osamu Takai 出版日期：1998-06-08
求助人	YL 在 2024-05-20 10:21:45 发布自广东，悬赏 10 积分
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