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Sub-5-Å La2O3 In Situ Dipole Technique for Large VFB Modulation With EOT Reduction and Improved Interface for HKMG Technology
Sub-5-ÅLa2O3原位偶极子技术用于HKMG技术的EOT降低和界面改进
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期刊:I.E.E.E. transactions on electron devices/IEEE transactions on electron devices 作者:Yanzhao Wei; Jiaxin Yao; Qingzhu Zhang; Guanqiao Sang; Yan Bao; et al 出版日期:2024-01-01 |
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