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 Smooth etching of silicon using TMAH and isopropyl alcohol for MEMS applications 用TMAH和异丙醇平滑刻蚀硅用于MEMS
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Kalpathy B. Sundaram; Arun Vijayakumar; Ganesh Subramanian 出版日期：2005-04-01 |
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