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 Patterning and characterization of 2D photonic crystals fabricated by focused ion beam etching of multilayer membranes 聚焦离子束刻蚀多层膜制备二维光子晶体的图案化与表征
相关领域
材料科学
聚焦离子束
表征（材料科学）
膜
蚀刻（微加工）
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光电子学
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离子
反应离子刻蚀
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光学
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物理
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图层（电子）
遗传学
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| 其它 |
期刊：Nanotechnology 作者：N A Paraire; P G Filloux; K Wang 出版日期：2004-01-13 |
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