Low temperature PECVD SiNx films applied in OLED packaging

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标题	Low temperature PECVD SiNx films applied in OLED packaging 低温PECVD SiNx薄膜在OLED封装中的应用相关领域等离子体增强化学气相沉积材料科学基质（水族馆）有机发光二极管化学气相沉积折射率光电子学水分复合材料图层（电子）海洋学地质学
网址	https://doi.org/10.1016/s0921-5107(03)00045-x
DOI	10.1016/s0921-5107(03)00045-x doi
其它	期刊：Materials Science And Engineering: B 作者：Weidong Huang; Xuhong Wang; Sheng Mei; Liqiang Xu; Frank Stubhan; et al 出版日期：2003-04-01
求助人	瓜瓜的小日常在 2023-12-25 13:47:25 发布自陕西，悬赏 10 积分
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