Surface effects and adhesion of polysilazane and polyimide film bonding to copper redistribution layer with oxygen plasma treatment for advanced semiconductor packaging

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标题	Surface effects and adhesion of polysilazane and polyimide film bonding to copper redistribution layer with oxygen plasma treatment for advanced semiconductor packaging 先进半导体封装用氧等离子体处理聚硅氮烷和聚酰亚胺薄膜键合到铜再分布层的表面效应和附着力相关领域材料科学聚酰亚胺铜再分配（选举）半导体图层（电子）粘附氧气复合材料等离子体光电子学冶金有机化学化学物理量子力学政治政治学法学
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfin.2025.106158
DOI	10.1016/j.surfin.2025.106158 doi
其它	期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Lung‐Hao Hu; Ta-Yung Chi 出版日期：2025-03-01
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