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![]() 用于MEMS器件的选择性聚合液晶弹性体致动器的结构化
相关领域
微电子机械系统
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材料科学
薄脆饼
弹性体
光刻
微加工
纳米技术
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期刊: 作者:Jasleen Lall; Hans Zappe 出版日期:2022-03-04 |
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